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1446165 Suryadevara Babu Woodhead Publishing series in electronic and optical materials number 86
Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) [1 ed.]
978-0-08-100165-3, 978-0-08-100218-6, 202-205-207-2, 407-413-414-4, 0081002181, 0081001657
Woodhead Publishing 2016 536 English 22 Mb pdf GET
173147 Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials
0-47-1-13827-4, 978-0-471-1-3827-3
J. Wiley 1997 340 English 14 Mb pdf GET
349032 Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials [First Edition]
0471138274, 9780471138273
Wiley-VCH 1997 337 English 3 Mb djvu GET
941334 Michael R. Oliver (auth.), Dr. Michael R. Oliver (eds.) Springer Series in Materials Science 69
Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials [1 ed.]
978-3-642-07738-8, 978-3-662-06234-0
Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004 428 English 14 Mb pdf GET
941195 Jianfeng Luo, David A. Dornfeld (auth.) Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication: From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales [1 ed.]
978-3-642-06115-8, 978-3-662-07928-7
Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004 311 English 12 Mb pdf GET
166335 Yuzhuo Li Microelectronic applications of chemical mechanical planarization
9780471719199, 0471719196
John Wiley 2008 762 English 11 Mb pdf GET
608708 Yuzhuo Li Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization [1 ed.]
0471719196, 9780471719199
Wiley-Interscience 2007 762 English 11 Mb pdf GET
261595 Ungyu Paik, Jea-Gun Park Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices
1420059114, 9781420059113
CRC Press 2009 196 English 11 Mb pdf GET
402562 Hong Liang David Craven Tribology In Chemical-Mechanical Planarization [1 ed.]
0824725670, 9780824725679, 9781420028393
2005 200 English 4 Mb pdf GET
342295 V.Z. Feinberg, A.G. Levin, E.B. Rabinovich Mathematics and Its Applications
VLSI Planarization: Methods, Models, Implementation [1 ed.]
079234510X, 9780792345107
Springer 1997 189 English 1 Mb djvu GET

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